CV-Messungen an geätzten epitaktisch gewachsenen Schichten Rutilius Taurus Aemilianus 2Gross margin46

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Im Laufe der Jahre - und speziell seit dem Beginn der 80er Jahre

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CV-Messungen an geätzten epitaktisch gewachsenen Schichten Rutilius Taurus Aemilianus 2Gross margin46Inhaltsangabe: Einleitung: In der heutigen Zeit werden in immer mehr Gerten Halbleiterbauelemente eingesetzt. Unter der Zielsetzung, mglichst viele Strukturen auf einer Flche unterzubringen, haben sich tztechniken zu einem der wichtigsten Werkzeuge bei der Herstellung von Halbleiter Mikrostrukturen entwickelt. Jede Weiterentwicklung der tztechnik erlaubt die genauere Kontrolle der tzrate, der Selektivitt, der Flankensteilheit, der immer besseren