Bewertung neuartiger metallorganischer Precursoren für die chemische Gasphasenabscheidung von Kupfer für Metallisierungssysteme der Mikroelektronik formatIsbn:Softcover - 9783638949118 Unseren mit Zielen und Visionen

Unseren mit Zielen und Visionen versehenen Weg durch ein unvorhersehbares Ereignis verlassen zu müssen

Abhandlungen und Kommentare sind zur Dichtkunst dieses so „schwierigen“ Epos entstanden

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Es geht hierbei hauptsächlich darum

Bewertung neuartiger metallorganischer Precursoren für die chemische Gasphasenabscheidung von Kupfer für Metallisierungssysteme der Mikroelektronik formatIsbn:Softcover - 9783638949118 Unseren mit Zielen und VisionenDiplomarbeit aus dem Jahr 2004 im Fachbereich Elektrotechnik, Note: 1,3, Technische Universitt Chemnitz (Fakultt fr Elektrotechnik und Informationstechnik, Zentrum fr Mikrotechnologien), Sprache: Deutsch, Abstract: Vor dem Hintergrund der in der Mikroelektronik Fertigung heute verbreiteten Kupfertechnologie werden in der vorliegenden Arbeit drei neuartige metallorganische Verbindungen, nmlich phosphitstabilisierte Kupfer(I) Trifluoracetat Komplexe